解決方案
LCD導(dǎo)電粒子檢查方案
一、儀器用途
CDM-810采用優(yōu)良的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)與模塊化的功能設(shè)計理念,可以方便升級系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)偏光觀察等功能。緊湊穩(wěn)定的高剛性主體,充分體現(xiàn)了顯微鏡操作的防振要求。符合人機(jī)工程學(xué)要求的理想設(shè)計,使操作更方便舒適,空間更廣闊。適用于金相組織及表面形態(tài)的顯微觀察,是金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)研究的理想儀器。適合電子、冶金、化工和儀器儀表行業(yè)用于觀察透明、半透明或不透明的物資,如金屬陶瓷、集成塊、印刷電路板、液晶板、薄膜、纖維、鍍涂層以及其它非金屬材料,也適合醫(yī)藥、農(nóng)林、公安、學(xué)校、科研部門作觀察分析用。二、系統(tǒng)簡介
無限遠(yuǎn)透反射金相顯微鏡系統(tǒng)是將傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡與計算機(jī)(數(shù)碼相機(jī))通過光電轉(zhuǎn)換有機(jī)的合在一起,不僅可以在目鏡上作顯微觀察,還能在計算機(jī)(數(shù)碼相機(jī))顯示屏幕上觀察實(shí)時動態(tài)圖像并能將所需要的圖片進(jìn)行編輯、保存和打印。
三、儀器特點(diǎn)
CDM-810C各項操作根據(jù)人機(jī)工程學(xué)設(shè)計,減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設(shè)計,可對系統(tǒng)功能進(jìn)行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用,進(jìn)行功能選擇。
寬視場鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒
正像鉸鏈三目觀察筒,所成像的方位與物體實(shí)際方向相同,物體移動的方向跟像面移動的方向相同,便于觀察與操作。
大行程移動平臺設(shè)計
CDM-810系列機(jī)型采用6英寸平臺設(shè)計,可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測,也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。
CDM-810:6英寸平臺,反射照明移動范圍158mm×158mm,透射照明移動范圍100mm×100mm;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動。通過使用平臺適配接口,所有平臺可在該系列機(jī)型之間通用。
全新設(shè)計的超長工作距物鏡,采用半復(fù)消色差技術(shù),并使用多層寬帶鍍膜技術(shù),使整個視場內(nèi)的成像清晰銳利,色彩自然,明亮舒適。
超長的工作距離設(shè)計,50X的有效工作距離達(dá)到7.8mm,100X物鏡也達(dá)到了2.1mm,大幅拓展了該機(jī)型的應(yīng)用領(lǐng)域,5X、10X、20X物鏡的設(shè)計,通過精選材料及優(yōu)化設(shè)計,使DIC微分干涉觀察的性能非常出色。
同步設(shè)計了全套明暗場兩用物鏡,適用于該機(jī)型,暗場照明亮度比傳統(tǒng)暗場物鏡提高2倍以上。
高性能物鏡轉(zhuǎn)換器
CDM-810機(jī)型的轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計,轉(zhuǎn)動手感輕巧舒適,重復(fù)定位精度高,物鎮(zhèn)轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制,采用5孔明暗場轉(zhuǎn)換器,且?guī)IC模鏡插槽。
安全、穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計
工業(yè)檢測級顯微鏡體,低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機(jī)架,極大的提高的系統(tǒng)的抗振能力與成卜像的穩(wěn)定性。
前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),內(nèi)置100一240V寬電壓變壓器,可以適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng),長時間使用也不會使機(jī)架過熱。
不同的照明器可供選擇
明暗場反射照明器:12V 100W鹵素?zé)粽彰?,并帶有?qiáng)光預(yù)設(shè)功能,可快速切換到預(yù)設(shè)亮度。帶明暗場切換機(jī)構(gòu)
透射照明:該系列均可使用透反射兩用機(jī)型,透射光源為單顆大功率5W白色LED,并帶有N.A.0.5聚光鏡。透射照明與反射照明可獨(dú)立控制,即透反射照明可同時開啟,亦可同時開啟
明場觀察(反射)
遠(yuǎn)心柯拉反射照明系統(tǒng),配以全新設(shè)計的無限遠(yuǎn)平場消色差長工作距金相物道,從低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、明亮的高面質(zhì)量微團(tuán)像。
明場觀察(透射)
5W大功率LED,配以N.A.0.5聚光鏡,可以透照明下,觀察LCD彩色液晶顯示屏,器件框架邊緣等。
透射照明與反射照明為獨(dú)立控制,即可同時亮,也可單獨(dú)亮。
暗場觀察
將暗場照明拉桿拉到指定位置,即可使用暗場功能,可以觀察物體表面的各種劃痕、雜質(zhì)點(diǎn)及其他細(xì)微缺陷,暗場功能只限于CDM-810機(jī)型。
簡易偏光觀察
將起偏鏡及檢偏鏡插板插入照明器的指定位置,即可進(jìn)行簡易偏光觀察。檢偏鏡可分為固定式和360°放轉(zhuǎn)式兩種。
DIC微分干涉觀察
在正交偏光的基礎(chǔ)上,插入DIC凌鏡,即可進(jìn)行行DIC微分干涉相村觀案。使用DIC技術(shù),可以使物鏡表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果,極大的提高圖像的對比度。5X、10X、20X專為DIC設(shè)計,使得整個視場的干涉色一效,微分干涉效果非常出色,高倍物鏡DIC效果也較好。
攝影攝像附件
在三目觀察筒上,可以配接攝影攝像裝置,將雙目觀察到的圖像輸出至監(jiān)視器或計算機(jī),進(jìn)行圖像分析、處理、保存或傳送。使用專用的C接口與中繼鏡,可以和數(shù)碼相機(jī)聯(lián)接,快速進(jìn)行拍照,并獲取圖像。
多種干涉濾色片可選
使用12V100W鹵素?zé)魰r照明時,可以選擇LBD日光型濾色片,能將光線過濾成自然日光的顏色,國像背景柔和亮白。
根據(jù)具體工業(yè)檢測的需要,可以選擇其他顏色的濾光片來對光線光譜進(jìn)行調(diào)節(jié),以獲得較好的圖像效果。
LMPL-BD無限遠(yuǎn)長距明暗場金相物鏡
產(chǎn)品名稱 及型號 |
金相顯微鏡 |
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部件配置
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規(guī)格描述 |
數(shù)量 |
高眼點(diǎn)大視野平場目鏡 |
1對 |
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25°傾斜遠(yuǎn)鉸鏈正像三通觀察筒 |
1套 |
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無限遠(yuǎn)長工作距平場消色差 明暗場金相物鏡5X-DIC,LMPL5X/0.15 WD11mm |
1只 |
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無限遠(yuǎn)長工作距平場消色差 明暗場金相物鏡10X-DIC,LMPL10X/0.3 WD9.5mm |
1只 |
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無限遠(yuǎn)長工作距平場消色差 明暗場金相物鏡20X-DIC,LMPL20X/0.45WD3.4mm |
1只 |
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無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消 明暗場金相物鏡50XLMPLFL50X/0.55 WD7.5mm |
1只 |
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無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消 明暗場金相物鏡100XLMPLFL100X/0.80 WD2.1mm(可另配) |
不帶 |
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內(nèi)定位5孔明暗場轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽) |
1只 |
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DIC微分干涉組件一片(可另配) |
不帶 |
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反射式機(jī)架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100V-240V寬電壓系統(tǒng),帶光亮度設(shè)定按鈕與復(fù)位按鈕。 |
1套 |
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隔熱系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計,防止燈源熱量傳導(dǎo)至照明器及鏡體;可變孔徑光闌,中心可調(diào);可變視場光闌,中心可調(diào);明暗場照明切換裝置 |
1套 |
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12V/100W鹵素?zé)粝洌A(yù)訂中心) |
1只 |
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12V/100W鹵素?zé)簦≒HILIPS 7724) |
1只 |
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6英寸三層機(jī)械移動平臺,低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié);平臺面積445mmX240mm,移動范圍:158mmX158mm;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)的快速移動;玻璃載物臺板。(反射用) |
1套 |
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φ30起偏鏡插板(反射用) |
1只 |
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360度旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 |
1只 |
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1/2CTV(0.5X),C接口,可調(diào)焦 |
1只 |
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倍率 |
50X、100X、200X、500X 可調(diào)(標(biāo)準(zhǔn)配置10X目鏡) |
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光源 |
反射照明系統(tǒng)(12V100W鹵素?zé)粽彰鳎炼瓤烧{(diào) |
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